林德现场制氟方案将帮助东京电子降低环境影响
作为林德实现更可持续的电子制造承诺的一部分，林德集团旗下的林德电子日前宣布，将在东京电子（TEL）的日本韮崎市研发中心制造厂安装一套现场氟发生器，以支持东京电子的制造流程和业务运营。
林德集团是全球领先的气体和工程企业。东京电子株式会社是全球领先的半导体和平板显示器（FPD）生产设备供应商。通过在美国、欧美和亚洲的15个国家约90个网点组成的全球网络，东京电子的所有半导体和平板显示器生产设备产品系列在各自的市场上都保持着很高的市场份额。
林德电子氟业务部门负责人Carl Jackson表示：“我们很高兴有机会与东京电子合作，扩大并深化氟的半导体应用范围，同时帮助客户通过减少环境影响、提高生产力并降低成本。多年来，东京电子在全球一系列生产基地的热LPCVD1炉都在使用林德现场制成的氟，以降低成本，提高安全系数和过程控制效果。”
近来，林德一直为LPCVD应用的大型半导体生产基地安装现场制氟设备并接获订单。林德发现有越来越多的客户由于担心三氟化氮(NF3)很有可能造成全球变暖，加之可能有潜在立法限制NF3的使用而开始采用现场制氟。相较于NF3，现场制氟是一种更具生产力、更节能的替代选择，它更便于清洁用于制造TFT-LCD和PV的PECVD2室。2010年，林德客户通过使用现场制氟，减少逾25万吨二氧化碳排放量。
林德Generation-F®现场氟发生器已通过大量的第三方安全评估。目前林德在世界各地提供和运行的Generation-F®系统数量超过30套，满足了半导体、显示和光伏行业的腔室清洁需求。
林德为世界各地的电子行业客户提供各种高纯度气体选择、相关产品、服务及技术解决方案，以便于研发直至大规模生产。
(责任编辑：admin)
- “扫一扫”关注融合网微信号
免责声明：我方仅为合法的第三方企业注册用户所发布的内容提供存储空间，融合网不对其发布的内容提供任何形式的保证：不保证内容满足您的要求，不保证融合网的服务不会中断。因网络状况、通讯线路、第三方网站或管理部门的要求等任何原因而导致您不能正常使用融合网，融合网不承担任何法律责任。
第三方企业注册用户在融合网发布的内容（包含但不限于融合网目前各产品功能里的内容）仅表明其第三方企业注册用户的立场和观点，并不代表融合网的立场或观点。相关各方及作者发布此信息的目的在于传播、分享更多信息，并不代表本网站的观点和立场，更与本站立场无关。相关各方及作者在我方平台上发表、发布的所有资料、言论等仅代表其作者个人观点，与本网站立场无关，不对您构成任何投资、交易等方面的建议。用户应基于自己的独立判断，自行决定并承担相应风险。
根据相关协议内容，第三方企业注册用户已知悉自身作为内容的发布者，需自行对所发表内容（如，字体、图片、文章内容等）负责，因所发表内容（如，字体、图片、文章内容等）等所引发的一切纠纷均由该内容的发布者（即，第三方企业注册用户）承担全部法律及连带责任。融合网不承担任何法律及连带责任。
第三方企业注册用户在融合网相关栏目上所发布的涉嫌侵犯他人知识产权或其他合法权益的内容（如，字体、图片、文章内容等），经相关版权方、权利方等提供初步证据，融合网有权先行予以删除，并保留移交司法机关查处的权利。参照相应司法机关的查处结果，融合网对于第三方企业用户所发布内容的处置具有最终决定权。
个人或单位如认为第三方企业注册用户在融合网上发布的内容（如，字体、图片、文章内容等）存在侵犯自身合法权益的，应准备好具有法律效应的证明材料，及时与融合网取得联系，以便融合网及时协调第三方企业注册用户并迅速做出相应处理工作。
融合网联系方式：（一）、电话：（010）57722280；（二）、电子邮箱：2029555353@qq.com dwrh@dwrh.net
对免责声明的解释、修改及更新权均属于融合网所有。
京公网安备 11011202002094号