国产高亮度LED芯片生产关键设备 MOCVD下线
代表国际尖端水平的高亮度LED芯片生产关键设备MOCVD(金属有机化学气相沉积设备)日前在正泰集团上海张江理想能源设备有限公司成功下线，打破了该领域长期被欧美企业垄断的局面，国内LED生产成本有望显著下降。
MOCVD 是高亮度LED芯片生产过程中最关键的设备，因设备技术难度高、开发周期长以及国内产业化起步晚等原因，市场主要被欧美企业垄断。近年来，我国LED外延芯片与封装在规模和品质上都取得了举世瞩目的成就，产品国产化比例显著提升，但关键装备特别是量产型MOCVD仍然依靠进口，生产成本居高不下，严重制约着国内LED产业的发展。2010年9月，理想能源启动MOCVD项目。在两年时间里，理想能源技术团队设计开发出了具有自主知识产权的MOCVD设备，并完成了第一代单腔体独立设备和簇式生产系统的生产组装。
根据工艺验证结果和客户反馈，理想能源在第一代原型机的基础上开发出了第二代量产型MOCVD设备，单腔一次可生产84片2英寸外延片，超过主流进口设备水平。量产机型在产出率、可靠性、运行经济性等方面都有了显著改善，非常适合商业化量产。
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