多轴陀螺仪让你在第三次MEMS浪潮中占尽先机(3)

Stephen Wu对此表示认同，他说：“目前，MEMS器件发展面临的挑战主要来自系统级设计、测试、分析、嵌入式软件的开发、以及电源管理技术。我们认为，要获得MEMS市场的成功，供应商不仅应该关注基本运动检测或增加新功能，必须能够应对更多需求和挑战，新型MEMS传感器设计必须在所有条件下，包括在各种振动和温度差异，巨大幅度的冲击的环境下，保持足够的灵敏度、噪声等关键特性。此外，设计人员必须提供有价值的系统性能改进，从而实现过程的自动化、并减少系统停机时间，从而降低成本。”

晶圆代工潜力巨大

市场需求的不断扩大，也带动了MEMS晶圆代工市场的兴起，全球最大的几家半导体代工厂如台积电、联电都已开始介入MEMS产业，部分领先MEMS制造商如ST、TI等也都提供代工服务。据Yole Development统计数据显示，意法半导体是目前全球最大的MEMS代工厂，2010年相关营收大约是2.04亿美元。

IMT(Innovative Micro Technology) 成立于2000年，是一家纯MEMS代工厂，在加州圣巴巴拉(Santa Barbara)拥有占地13万平方尺的厂房， 该公司业务发展副总裁Craig T. Trautman表示：“目前我们有近八成的客户是Fabless设计公司，尽管目前MEMS市场多半仍由IDM所主导，但代工市场增长潜力巨大。”

Piyush Sevalia也坦言，作为一家Fabless设计公司，SiTime公司的优势之一就是可以将其生产全部外包给世界第一流的IC代工厂和封装测试代工厂，以保持最低成本。“这使我们可以利用半导体巨大并现有的基础设施以最短的供货期来满足我们客户不断变化的需求。同时，外包生产使我们在亚洲不同的地区同时设置封装测试生产伙伴，在自然灾害或其他意外情况下可更有效的保持货源的持续性。”他说。

除此之外， 中国大陆的一些半导体代工大厂也已开始进入MEMS代工领域，如中芯国际、上海先进半导体等，这为本地MEMS芯片制造提供了很好的生产平台。上海先进半导体（ASMC）是中国大陆地区唯一一家专注于模拟器件代工的企业，，专注于双极型混合信号IC制造，年产能大约为80万片。该公司从2009年起开始投入MEMS器件的代工服务，目前的产能是3000片/月，生产良率达到了80%。

该公司总裁谢志峰博士表示：“过去MEMS制造有很多技术问题没有解决，但是现在，MEMS供应商已经成功冲破了可靠性、成本和大规模生产的障碍，使用者对MEMS的需求推动了该领域的快速进步和发展。我们目前和中国科学院微系统研究室紧密合作，加大对研发和设备的投入，未来将重点投入汽车、消费电子和医疗电子领域的MEMS产品开发。”

为满足不同客户的需求, 除可提供从产品概念到量产的全套MEMS代工服务外，上海先进还可以提供定制化代工服务，同客户一起完成原型设计、制造工艺开发等流程，谢志峰博士表示：“目前国内有很多Fabless MEMS传感器供应商苦于没有地方生产，上海先进的使命就是要为本土厂商提供MEMS的设计服务帮助。”

来自台湾的Asia Pacific Microsystem（APM）同样看到了中国公司的需求， 目前正在积极与中国大陆MEMS设计公司接触。该公司技术市场项目经理陈志学表示：“我们从07年开始涉足MEMS代工，目前是全球第四大的MEMS代工厂，可以生产6寸晶圆，采用10道光照，月产能达到12，000片，拥有具备硅通孔(TSV) 和3D封装技术，预计到2014年还将掌握 thin wafer（超薄晶圆）技术。相信凭借成熟的生产工艺与丰富的制造经验，加上地缘优势，可以为中国大陆的设计公司提供理想的代工服务。”