Globalfoundries与IMEC机构签署亚22nm节点制程CMOS技术合作计划
拥有阿拉伯财阀背景的Globalfoundries公司最近与欧洲半导体研究机构,比利时的IMEC签署了一项关于在亚22nm节点制程CMOS技术和硅上氮化镓(GaN-on-Si:可用于制造固态照明器件,功率器件和射频电路器件等)技术结成长期战略合作伙伴的合作协议。
IMEC并没有透露双方这次合作协议的年限,以及IMEC从这项合作中能得到多少金额的营收等协议细节内容,仅称Globalfoundries已成为IMEC的CMOS技术核心合作伙伴。除了Globalfoundries之外,台积电,Intel,三星,尔必达,Hynix等公司也与IMEC存在研发合作关系。
IMEC的亚22nm CMOS研究项目的目标是开发出可供量产的逻辑/存储用芯片产品制程工艺。项目的内容包含从下一代IC芯片制造用材料及设备结构研究,制造用器具,制造工序安排,制程整合等各个方面,还包括22nm下一代制程技术的开发和研究。另外,Globalfoundries还将加入IMEC的EUV光刻技术,逻辑/存储芯片结构技术,纳米级互连技术以及3D芯片整合技术的研究项目中去。
与此同时,Globalfoundries还加入了IMEC的氮化镓研究计划,该项目的目标是研发出高性能高费效比的硅上氮化镓固态照明技术,力图在200mm尺寸的硅晶圆衬底上采用硅上氮化镓制程研发出适用的硅上氮化镓制程技术,这项技术研发成功之后,砷化镓器件在功率器件,射频电路器件等应用场合均可获益。
除了与IBM领导的Fishkill制造技术联盟展开合作之外,GlobalFoundries一直在发展有自家特色的制程研发能力。不过GlobalFoundries的发言人此地无银三百两地表示:“与IMEC的合作将是我们现有研发项目的一个补充,不会影响到我们与其它机构/公司如IBM,CNSE,Sematech等主要合作伙伴的合作关系。”
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