2014年压力传感器将成为头号MEMS器件(2)
MEMS压力传感器在汽车中的一个新应用是传动系统压力感测,通常用于自动装置之中,但也用于新型双离合器传动系统。德国厂商博世最近进入该市场,推出了一款MEMS解决方案,使用油来保护硅薄膜,使其可以最高耐受70巴的压力。博世几年前也曾为MEMS压力传感器带来巨大变化,当时使用的是多孔硅,带来了高度可靠的MEMS器件,这些器件已用于目前的侧面气囊等应用之中。
在医疗市场,压力传感器主要充当外科手术使用的一次性低成本导管。但它们也用于昂贵的设备之中,在连续气道正压通气(CPAC)机中感测压力与差流。这些器件潜力巨大,可能在2015年以后成为可植入传感器。可植入传感器不需要电池就能工作,可以用于心脏测量和监测青光眼。
在工业领域,MEMS压力传感器的主要应用包括采暖通风及空调(HVAC)、水平面测量、各种工业过程与控制应用。例如,除了精确的高度气压测量,飞机使用传感器监测引擎、襟翼等其它部件。
MEMS压力传感器在消费与移动设备中不是特别热
到目前为止,MEMS压力传感器在消费电子与移动领域的应用不是特别普遍,销售额还不到2000万美元。但其应用多种多样,包括气象站、运动手表、自行车电脑、潜水设备和步数计。还可以用于白色家电,如节能型洗衣机使用的水位传感器。
在移动领域,迄今没有什么大规模的应用。将来高端智能手机可能采用压力传感器充当高度计,支持室内位置服务,但目前尚不具备这方面的基础设施。在平板电脑领域,迄今压力传感器只用于使其能够显示本地天气情况。
与加速计和陀螺仪在消费电子与移动领域得到广泛使用相比,未来几年压力传感器在该领域的应用仍将非常有限。
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